適用在耐高溫條件下防黏和耐化學性領域
＊耐高溫200~220℃
＊耐強酸
＊耐強氟酸
＊耐強鹼
進入化學酸、鹼蝕刻製程中，可搭配鐵氟龍手把使用。
可應用於FABRICATION廠內之酸鹼製程中使用、傳送晶圓
產品規格
| Product name 產品名稱 | 晶圓卡匣/鐵氟龍卡匣/鐵氟龍晶舟盒/晶圓盒/晶舟盒/PFA Cassette |
| Material 組成材質 | PFA |
| Color 顏色 | 本色 |
| Size 尺寸 | 4” – 25slot 6” – 25slot 8” – 25 slot 12”- 13slot |
Cassette卡匣依材質特性的選擇參考：
| 材質 | 耐溫度 | 特性 | Cassette 應用 |
|---|---|---|---|
| PFA Cassette 鐵氟龍卡匣 | 200~220℃ | 耐強酸強氟酸強鹼 | 酸鹼製程中使用 |
| PP Cassette | 40~60℃ | 重量輕，可焊接，缺點易變形。 | 一般傳輸製程 |
| PEEK Cassette | 120℃ | 硬度高、耐磨，不易變形。 | |
| PC Cassette | 80~100℃ | 尺寸安定性佳、耐候性佳、不易應力變形 | |
| PEI Cassette | 130~150℃ | 耐磨、抗靜電性。 |
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